第206章 时间,已所剩无几(1/2)
秦昊阳指向前方一台设备,“你看,这里的对准误差控制已经压到工艺极限,稍微偏个0.02微米,良率就跳水。每天设备维护和重复校准几乎占了工程师一半精力。”
良率是芯片制造中的一个关键指标,指的是生产过程中产出的“合格产品”占总产品数量的比例。良率越高,说明制造工艺越稳定,单颗芯片成本越低。
核心设备精度不稳,工程师被迫将大量时间耗在维护和重复校准上,原本应投入工艺改进的空间被严重压缩。而工艺迟滞又加剧了设备老化,使整个系统陷入恶性循环。
姜蕴宁俯身看了看控制面板,目光落在关键参数上,随口问:“你们用的是193nm的浸没式arf光刻机吧?”
秦昊阳点头道:“是的,193nm浸没式arf光刻机理论上支持14纳米及以上工艺,我们利用多重曝光技术,勉强实现了技术日志,一页页调阅良率波动曲线与关键设备误差记录。数据清晰得近乎残酷:光刻系统的极限,早已不是某个参数的问题,而是整套系统架构落后、性能瓶颈日益加重的系统性崩溃。
她在笔记本上写下几个关键词:“euv光源”、“多重对准系统”、“热场控制”、“平台稳定性”。
那一刻,她心中已有明确方向。
光刻机,必须有人来攻克。
如果没有,那她来。
姜蕴宁离开芯片制造车间后,直奔上级主管部门的办公室。
一个星期后,姜蕴宁现身于华国光电设备研究所。
这所研究所,是国内最早涉足光刻设备研发的单位之一,长期扎根于193nm arf系统,积累了深厚的技术经验,在机械控制、光学调校等关键环节具备坚实基础。然而在更高阶的euv领域,却始终难以迈出关键一步。
她随行简约,仅携带一台笔记本电脑,里面载有“苍穹x2”后期架构模拟器、压缩算法模型及若干关键工艺分析图表,以及一本亲手撰写的技术笔记。两名安保人员默默陪同,这场闭门对接没有对外披露。
她来此,并非寻求配合,而是带着方案而来。
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