第210章 落地江城,打造“芯谷”(1/2)

2014年2月的江城,春寒料峭,但东湖新技术开发区的“芯谷”产业园地块上,却是一派热火朝天的景象。数十台挖掘机、推土机同时作业,扬起的尘土在晨雾中勾勒出忙碌的轮廓。林渊站在临时搭建的指挥塔上,手里攥着“芯谷”产业园的总规划图,图上用不同颜色标注的晶圆厂区、研发中心、配套产业区和生活服务区,正从蓝图一步步走向现实。

“林总,土地平整工程已经完成60%,比计划提前了5天。”项目总工程师老张拿着进度表跑上来,安全帽上还沾着泥点,“我们采用了分层碾压技术,土壤压实度达到98%,完全满足净化车间的承重要求。不过东边的高压线迁移遇到点问题,电力部门说需要协调华中电网,可能要延误3天。”

林渊顺着老张指的方向望去,几根高压线横跨规划中的研发中心地块,像拦路虎一样阻碍着施工。他立刻掏出手机拨通了江城“渊渟项目服务专班”组长、副市长王军的电话:“王市长,研发中心地块的高压线迁移需要加快,这直接影响到主体结构的开工时间。”王军在电话里爽快回应:“我上午刚跟华中电网的老总开过会,他们已经安排了应急施工队,明天就进场迁移,保证不耽误你们的进度。”

挂掉电话,林渊的目光落在规划图的研发中心区域。按照计划,这里将建设“渊渟-华科芯片联合研究院”,主体建筑包括12层的研发大楼和4层的中试车间,总投资15亿美元。李校长带着华中科技大学的团队已经进驻临时办公区,正在进行高精度激光发生器的中试设备安装。“林总,中试车间的净化等级设计为百级,比实验室要求高三个等级,设备调试需要特殊的防尘措施。”李校长迎上来,手里拿着一份设备清单,“我们需要定制一批无尘安装工具,国内供应商没有现货,从德国采购要15天,会不会影响进度?”

林渊立刻想到了刚解锁的“产业链资源对接平台”,打开系统界面输入关键词“百级净化无尘安装工具”,平台瞬间匹配出三家供应商,其中苏州的一家企业正好有一批为某外资企业定制的备用工具,规格完全符合要求。“李校长,苏州有家企业有现货,我让陈曦联系协调,明天就能运到江城。”他补充道,“另外,研究院的首批5亿美元研发资金已经到账,重点保障激光发生器和温控传感器的中试,有任何资金需求随时跟我说。”

产业链整合的速度远超预期。在陈曦的统筹下,海市新阳的光刻胶生产基地已经完成土地摘牌,正在进行地基施工;中环股份的大硅片车间主体结构已初具雏形,预计比晶圆厂提前3个月投产;中微公司的刻蚀机组装厂直接租用了产业园的临时厂房,首批3台适配高精度激光发生器的刻蚀机正在组装,下个月就能交付测试。“目前已有32家配套企业签订入驻协议,涵盖了从材料、设备到封装测试的全产业链,其中15家是国家级高新技术企业。”陈曦拿着招商台账向林渊汇报,“江城政府兑现承诺,给每家企业都发放了首期搬迁补贴,还协调银行提供了低息贷款,企业的积极性非常高。”

人才储备工作也在紧锣密鼓地推进。“芯片产业学院”的筹备会议在华中科技大学召开,武汉大学、武汉理工大学等5所高校的校长共同签署了联合办学协议。根据协议,学院将开设晶圆制造、芯片设计、设备研发三个专业,2014年9月正式招生,首批计划招收500名本科生和200名研究生。“我们从全球招聘了12名顶尖教授,其中包括3名来自台积电和三星的资深工程师,担任产业导师。”李校长介绍道,“江城政府还投入2亿元建设了芯片实训中心,配备了10台二手刻蚀机和光刻机,让学生在校就能接触实际生产设备。”

就在各项筹备工作顺利推进时,张磊带来了一个棘手的问题:“林总,二期项目的资金调度出现了缺口。原本计划的200亿美元投资中,有50亿美元是通过发行海外债券筹集的,但受米国国债收益率上升影响,海外投资者的认购热情不足,目前只筹集到35亿美元,还差15亿美元。”张磊的额头渗着冷汗,“如果不能在3月底前补齐资金,设备采购的预付款就无法支付,可能会导致设备交付延迟。”

林渊陷入了沉思。15亿美元的资金缺口不算小数,国内银行虽然愿意放贷,但会增加企业的债务压力;定向增发又会稀释股权。这时,王军副市长的电话打了过来,带来了一个好消息:“林总,工信部已经正式批复,将‘芯谷’产业园列为国家级半导体产业基地,同时为你们争取到了10亿美元的国家专项贷款,年利率仅1.2%,期限20年。另外,湖北省政府也协调省内的国有资本,成立了100亿元的芯片产业基金,愿意以股权投资的方式投入5亿美元,占股仅1%,不参与日常经营。”

这个消息解了燃眉之急。10亿美元专项贷款加5亿美元股权投资,正好填补了资金缺口。林渊立刻安排张磊对接相关部门,办理资金划拨手续。“这笔资金要优先保障设备采购,尤其是asml的duv光刻机和国产刻蚀机的预付款,必须按时支付。”林渊叮嘱道,“同时,跟海外债券承销商沟通,将剩余15亿美元的债券发行规模缩减至10亿美元,降低发行成本。”

资金问题解决后,林渊把重点放在了设备交付的风险防控上。海因茨博士带来了asml的最新回复:“对方坚持说全球订单激增导致产能不足,交付时间要推迟3个月,但我通过内部渠道了解到,实际是米国商务部给asml施压,要求对我们的订单进行‘技术审查’,这才是延迟的真正原因。”海因茨博士的语气带着担忧,“如果审查升级,不排除对方会终止合同。”

林渊早已做好了两手准备。他带着海因茨博士和赵宇来到中微公司的临时组装厂,看着工程师们正在调试的刻蚀机,对众人说:“我们不能把宝都押在asml身上。赵宇,你牵头成立‘国产光刻机攻坚小组’,联合中科院光电技术研究所和华中科技大学,重点攻关duv光刻机的核心技术,优先解决光源和物镜系统的国产化;海因茨博士,你负责优化现有国产设备的工艺参数,就算没有asml的光刻机,也要用国产设备实现28纳米芯片的量产,良率目标不低于90%。”

攻坚小组的成立立刻取得了突破。中科院光电技术研究所带来了他们研发的深紫外光源样机,虽然功率比asml的光源低15%,但通过优化光刻胶配方,已经能满足28纳米工艺的需求。“我们可以采用多重曝光技术弥补光源功率的不足,虽然会增加一道工序,但能将芯片的线宽精度控制在0.14微米以内。”研究所的陈研究员介绍道,“只要再投入2亿美元进行优化,3个月内就能完成样机的中试。”

林渊当场拍板,追加2亿美元研发资金,支持国产光刻机的中试。同时,他让陈曦联系江城政府,协调将“芯谷”产业园内的一栋标准厂房改造为光刻机研发中心,配备百级净化车间和精密测试设备,确保研发工作顺利推进。“国产光刻机不仅要满足我们自己的需求,未来还要推向市场,打破asml的垄断。”林渊对团队成员说,“这是‘核芯计划’的核心目标之一,再难也要攻克。”

3月初,“芯谷”产业园的各项筹备工作基本就绪。晶圆厂的主体结构图纸通过了审核,施工队已经进场搭建脚手架;配套的供水、供电、供气管道铺设完成80%;10家核心配套企业的厂房建设同步推进,其中海市新阳的光刻胶车间已经开始安装生产设备;“渊渟-华科芯片联合研究院”的研发大楼完成了地基浇筑,开始搭建钢结构。

动工仪式的筹备工作也进入了尾声。江城政府成立了仪式筹备专班,负责邀请嘉宾、现场布置和媒体接待。王军副市长向林渊汇报:“工信部领导、湖北省和江城的主要领导都会出席仪式,华维、比雅迪、蔚来等合作伙伴的负责人也确认参会,还有30多家国内外媒体报名采访,仪式将通过龙国国家电视台tv)新闻客户端全程直播。”

林渊特别要求在仪式现场设置“产业链展示区”,展示国产刻蚀机、光刻胶、大硅片等配套产品,让嘉宾和媒体直观了解“芯谷”的产业链生态。“我们要通过这次仪式,向外界传递一个信号:龙国的芯片产业不是孤军奋战,而是形成了完整的产业链集群。”林渊对王军说,“同时,邀请100名‘芯片产业学院’的首批新生代表参加仪式,让他们感受龙国半导体产业的崛起氛围,增强使命感。”

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