第117章 行业邮件（2/2）

2. 方法可重复性存疑：对测试用模拟晶锭的规格、测温点的布置和数据处理算法，昭栄提出了详细的疑问，认为“细节描述不够充分，可能影响不同实验室间的测试结果可比性”。

3. 国际标准协调：委婉地建议草案起草方“充分参考和借鉴已有的国际半导体设备与材料协会（semi）相关标准框架”，以确保中国标准“与国际接轨”。

公函的落款处，除了昭栄的标准部，还有一位联合署名者——技术顾问，高桥健一。

“典型的国际巨头打法。”沈南星在内部会议上分析，“先礼后兵，用专业质疑来挑战方法的合理性和权威性，同时高举‘国际接轨’的大旗，潜台词是我们的标准‘不够国际化’或‘过于特立独行’。”

张明远则更关注技术内容：“他们的质疑点抓得很准。我们的方法确实对设备要求高，细节上也还有完善空间。但之所以这么定，恰恰是因为‘琉璃’项目对材料一致性有极端要求，我们必须从一开始就把标杆立高。这是应用倒逼的标准。”

“他们想把标准拉低到他们舒适，或者说，他们能轻易主导的范围内。”陆晨总结，“西南所那边什么态度？”

“陈主任刚来过电话。”沈南星说，“他们认为昭栄的反馈在意料之中，也是标准制定过程的正常环节。西南所会组织起草组内部会议，逐条研究并准备回应。陈主任强调，关键是要把我们方法背后的‘国家重大需求背景’和‘高可靠性导向’向其他参与单位解释清楚，争取更多支持。”

标准之争的第一回合，在看似平和的公文往来中拉开了序幕。这不再仅仅是技术优劣之争，更是产业话语权和未来技术路线的争夺。

就在标准公函抵达的第二天，李明恺在课题组办公室的公共资料架上，发现了一份不应该出现的东西 一份关于“等离子体辅助化学气相沉积（pacvd）技术中卤素前驱体残留影响”的国外学术会议论文集复印件，被人随意地放在一堆过期的行业期刊里。

这份论文集的专业性很强，绝非普通资料。他立刻检查了资料架附近的监控（课题组办公区有内部监控），发现前一天晚上，渡边绫曾在资料架前停留，似乎翻阅过一些资料，但监控角度看不到她是否放下了这份论文集。

是渡边不小心遗落的？还是有人故意放置？如果是故意的，目的是什么？是暗示？是警告？还是又一次试探？

李明恺不动声色地将论文集收起，带回了自己办公室。他翻阅了一下，里面有多篇论文涉及含氯、含氟前驱体在沉积过程中产生的副产物对设备性能和薄膜质量的影响，其中一篇甚至提到了“特定副产物可能导致电子束成像出现周期性衬度异常”。

他的心猛地一跳。这几乎是在明示！

渡边？她为什么会这么做？她是出于研究者的分享精神，还是……某种更复杂的动机？

他没有立刻上报，而是将论文集锁进抽屉。他需要观察，需要判断。

当天下午，在与渡边讨论一组数据时，李明恺假装随意地问起：“渡边博士，你对pacvd工艺中卤素残留的问题有研究吗？我最近看到一些文献，感觉挺有意思。”

渡边绫正在记录数据的手微微一顿，抬起头，眼神清澈：“啊，那个领域很复杂。我在学校时接触过一些，但不算深入。李桑怎么突然对这个感兴趣？”

“没什么，就是觉得可能和我们观察到的信号有点遥远的关系，随便问问。”李明恺笑了笑，岔开了话题。

渡边也笑了笑，没再追问，继续她的记录。

一切如常，却又似乎有什么东西，在平静的水面下，悄然改变了流向。

李明恺隐约感到，自己正站在几条暗流的交汇处。来自赵斌的恶意中伤，来自昭栄的技术博弈与暧昧试探，来自未知方向的文献提示……还有课题组内，渡边绫那双清澈眼眸背后，可能隐藏的复杂心思。

压力无声，却无处不在。

他看了一眼窗外。天色灰蒙蒙的，似乎要下雨了。

山雨欲来，而风已满楼。