第8章 第一次流片尝试与惨烈的失败(1/2)
d区实验室,此刻已经面目全非。
原本整洁的空间,如今被各种改造中的设备和密密麻麻的线缆占据。
空气中弥漫着焊锡、机油、还有一丝若有若无的化学试剂气味。中心区域,一个由多种“破烂”设备拼凑、连接起来的、看起来极其怪异且不稳定的“综合处理平台”已经初步成型。
这就是“女娲计划”的雏形——一条充满了“手工”痕迹的芯片试验线。
“真空度达到要求!”
“激光校准完成!”
“反应气体浓度稳定!”
“生物溶液活性正常!”
一个个指令和汇报声在实验室内响起,气氛紧张到了极点。
今天,是“女娲计划”的第一次小型化流片尝试,目标是在一片2英寸的报废实验晶圆上,尝试“打印”出最简单的晶体管结构。
陆星辰站在主控台前,脸上没有了往日的嬉笑,眼神专注而锐利。
赵刚、李默、老周等人各就各位,紧紧盯着自己面前的仪表和数据屏幕。
林晓则拿着记录本,手心全是汗。
“启动自组装程序。”陆星辰下令。
李默按下按钮,特定的生物酶溶液被精确注入覆盖着特殊纳米材料的晶圆表面。
在显微镜下,可以观察到溶液中的分子开始按照预设的程序,缓慢而有序地进行着自我组装。
“自组装完成度85%…90%…很好!”李默的声音带着一丝兴奋。
“切换到物理气相沉积,进行电极材料填充!”陆星辰继续下令。
老周操控着那台改造的电子束蒸发设备,小心翼翼地将金属材料蒸发到晶圆表面。
一切似乎都在按照计划进行。
然而,就在进行到最关键的光刻图形化环节时,意外发生了!
那台由高精度位移台和二手激光器拼凑起来的“丐版光刻机”,因为长时间超负荷运行,一个负责精密定位的伺服电机突然过热报警,随即,位移台产生了微小的、但足以致命的偏移!
“不好!定位偏移!”赵刚盯着监控屏幕,脸色大变。
几乎同时,负责化学机械抛光的老式研磨机也因为压力传感器失灵,施加的压力瞬间超标!
“咔嚓……”
一声细微却清晰的碎裂声,从反应腔体中传来。
所有人的心都沉了下去。
实验终止。
当那片承载着无数希望的晶圆被取出来时,上面布满了错乱的图形、断裂的线路和……一道清晰的裂痕。
第一次流片尝试,彻底失败。不仅失败,连宝贵的实验晶圆都损毁了。
实验室里一片死寂。
连续多日高强度工作积累的疲惫和此刻失败的打击,如同潮水般淹没了每个人。
几个年轻工程师甚至红了眼眶,颓然地坐倒在地。
老周狠狠一拳砸在设备外壳上,发出沉闷的响声,脸上写满了不甘和自责。赵刚和李默也低着头,紧握着拳头,气氛压抑得让人喘不过气。
林晓看着一片狼藉的实验台和垂头丧气的众人,鼻子一酸,差点哭出来。
只有陆星辰,默默地走到那片报废的晶圆前,拿起放大镜,仔细地观察着上面的每一处瑕疵,每一个失败的痕迹。
他的脸上没有任何沮丧和愤怒,反而……带着一种近乎冷酷的平静和分析。
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