第48章 良率破局与“昆仑”之固(1/2)
d区小型精密加工中心内,气氛紧张得如同拉满的弓弦。
赵刚和老周带着几名核心工程师,已经围绕那台经过“魔改”的五轴加工中心工作了整整三十六小时。
“温度稳定在正负零点五度!准备进行最终精加工!”老周盯着监控屏幕,声音嘶哑但带着兴奋。
加工平台上,固定着一块经过特殊处理的合金坯料,周围布满了临时加装的水冷管路和红外测温点。机器轰鸣,刀头带着极高的转速,按照优化后的路径,开始对关键部位进行最后一次微米级的切削。
火星飞溅,冷却液蒸腾起白色的雾气。所有人都屏住了呼吸,紧盯着控制屏幕上跳动的数据。
这是“微应力自平衡平台”最核心的基座部件,其平面度和内部应力分布,直接决定了未来光刻对准的终极精度。
时间一分一秒过去。
终于,随着刀头抬起,归位,加工完成的提示音响起。
赵刚立刻上前,亲自操作一台高精度三坐标测量仪,对工件进行检测。
数据一点点在屏幕上呈现。
平面度、平行度、关键孔径……一项项指标被读出。
当最后一项数据稳定在设计要求的绿色范围内时,整个车间先是死一般的寂静,随即爆发出巨大的欢呼声!
“成功了!我们做到了!”一个年轻工程师激动地跳了起来,眼眶发红。
老周用力拍了拍赵刚的肩膀,这个硬汉的眼中也闪烁着泪光。
赵刚看着测量数据,长长地舒了一口气,感觉压在心口的一块大石终于被挪开。
“立刻送检微观应力!如果应力达标,立刻安排热处理和表面处理!”他强压着激动下令。
这个消息第一时间报到了陆星辰那里。
“好!太好了!”陆星辰毫不吝啬自己的赞赏,“赵工,周工,还有参与攻关的所有人,辛苦了!这个月奖金翻倍!”
这不仅是一个零件的成功,更是证明了d区具备在极端条件下,自主攻克超高精度加工难题的能力!这意义非凡!
“微应力自平衡平台”的顺利加工,为二维“凌霄”芯片良率的提升扫清了一个巨大的障碍。
赵刚团队趁热打铁,迅速将平台安装到光刻机上进行调试。
初步测试结果令人振奋:光刻对准的稳定性提升了近百分之二十,由此带来的直接效应就是晶圆良品率的显着提升。
最新一批次流片的芯片,经过严格测试,良品率终于突破了百分之三十的大关,稳定在了百分之三十一点五!
虽然距离内部设定的百分之三十五目标还有距离,但这无疑是一个里程碑式的突破,极大地增强了整个团队对实现量产目标的信心。
与此同时,李默团队的“自适应制造环”控制代码编写也已接近尾声,进入了紧张的单元测试和联调阶段。
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