第一八二七章 犹豫不决（2/2）

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“孙先生，bsec什么时候能研发成功45nm制程的浸没式光刻机？”

6月5日，阿密特从日本打来电话，接到尼康公司的邀请，他代表intel前往尼康公司查看dsp-100干式光刻机的性能，尼康公司希望intel提前预定dsp-100，价格可以优惠。

在1994年gca重回光刻机老大之前，intel一直是尼康公司的最大客户。

intel正在研发第一款四核处理器core 2 quad，即将开启四核时代的大门，这款cpu拥有582，000，000个晶体管，运行速度为3.4ghz，最大存储容量为32tb，采用45nm制程工艺。

阿尔特曼代表amd公司也出现在尼康公司。

amd如今正在研发第一款四核处理器速龙ii x4 641，采用k10.5架构，这款cpu拥有624，000，000个晶体管，运行速度为3.4ghz，二级缓存4m，最大存储容量为32tb，采用45nm制程工艺。

amd希望抢在intel的前面开启四核时代。

两人参观完后，犹豫不决，约在一起，由阿密特给孙健打电话。

阿尔特曼和阿密特都兼任gca的董事，虽然intel和amd是竞争对手，但两人的私人关系不错。

gca、intel和amd既是sematech会员，还是gca euv光刻机股份公司的重要股东。

要是gca的光刻机和nikon的光刻机制程一样，价格差不多，intel和amd都会购买gca的。

由于bsec拒绝给尼康的65nm制程工艺干式光刻机nsr-s308f专门升级双工作台系统，nsr-s308f装配的还是90nm制程光刻机的双工作台系统，工作效率比twinscan nxt:2230i低15%左右，加上价格贵45%，nsr-s308f除了selete购买了3台，没有听说其他晶圆厂购买。

dsp-100也没有升级双工作台系统，这是一个重大劣势；预定价格3500万美元，比之前购买的twinscan nxt:2230i贵了2000万美元，这可以理解。

干式光刻机和浸润式光刻机各有优缺点。

干式工艺需要cvd沉积、干显影、干蚀刻等多环节，设备占地面积为浸润式的5倍以上，综合成本约为浸润式的3倍。但干式工艺材料消耗仅为浸润式的1\/5-1\/10，每片晶圆能耗降低50%，长期看可减少光刻胶用量30%以上，减低供应链风险。

但晶圆厂从浸润式光刻机换成干式光刻机，需要在光刻胶类型及涂布方式、光学系统调整、设备配套设施、工艺参数优化、成本投入变化等方面调整，工程师们需要很长的时间才能适应。

预定45nm制程的光刻机到45nm制程工艺的半导体生产线量产，一般建设周期需要一年左右。

哪家先预定dsp-100，哪家就能先拿到！