第213章 工厂建设陷入停滞(2/2)

林渊突然想到,航空航天领域的密封技术要求比半导体更高。他立刻联系龙国航天科技集团,希望能借鉴他们的密封技术。航天科技集团的专家团队当天就赶到江城,经过两天的现场勘查,提出了用金属密封环替代传统橡胶密封垫片的方案:“这种金属密封环采用钛合金材料,耐高温、耐高压,密封性能达到10的负9次方帕·立方米\/秒,远超你们的要求。我们可以提供技术授权,帮助你们在15天内完成改造。”

密封系统的问题解决后,光刻机的调试终于迎来了突破。6月25日,经过改造的光刻机完成了72小时连续运行测试,良率稳定在90%,激光功率波动范围控制在±1.2%,达到了量产要求。陈研究员激动地抱着林渊:“我们成功了!这台光刻机的国产化率达到了85%,除了少数光学部件,其他都是我们自己造的!”林渊却没有丝毫放松:“这只是第一步,我们要在8月底前完成10台光刻机的组装调试,确保能跟上厂房建设的进度。”

供应链的自主化也取得了进展。苏州的过滤设备企业在渊渟资本的资金支持下,仅用两个月就完成了生产线改造,首批高精度空气过滤器下线,测试数据显示过滤效率达到99.9995%,接近进口产品水平。洛阳轴承研究所也传来好消息,刻蚀机用的高精度轴承量产良率提升到了85%,成本下降了20%。海市新阳的光刻胶光敏剂提纯工艺也通过了中试,纯度达到99.96%,完全满足生产需求。

然而,新的危机又在悄然酝酿。7月1日,林渊收到了王军副市长的紧急通知:“林总,刚接到海关的消息,米国商务部联合西欧科技联盟出台了新的‘半导体设备零部件出口管制清单’,将之前不受管制的100多种零部件纳入管控,其中包括我们正在量产的激光发生器核心组件——高频振荡器。你们之前采购的零部件库存,最多只能维持到9月底。”

高频振荡器是激光发生器的“心脏”,国内企业的研发还停留在实验室阶段,要实现量产至少需要18个月。林渊立刻召集核心团队开会,大家陷入了沉默。海因茨博士叹了口气:“这是釜底抽薪啊!没有高频振荡器,我们的光刻机就算组装好了也无法运行。现在唯一的办法,就是从罗斯国或者韩国的企业采购,但质量和交付周期都无法保证。”

“不,我们自己造!”林渊突然拍板,“赵宇,你立刻牵头成立高频振荡器专项攻关小组,联合电子科技大学和中科院微电子研究所,把所有资源都投入到这个项目上。我给你们三个月时间,必须完成样机研发和小批量生产,就算性能比进口产品差一些,也要先解决有无问题!”他顿了顿,语气斩钉截铁,“从今天起,我们彻底放弃对进口零部件的幻想,所有核心部件都要实现自主研发、自主生产!”

7月5日,高频振荡器攻关小组正式成立,电子科技大学的张教授带着20名顶尖专家进驻“芯谷”研发中心,与渊渟的技术团队组成联合攻关组,实行“7x24小时”轮班制。林渊亲自担任攻关小组组长,每天都要到研发现场了解进度。为了加快研发进度,他投入5亿美元采购了最先进的精密加工设备,还从德国聘请了两名高频电子领域的退休专家担任技术顾问。

与此同时,厂房建设也终于迎来了里程碑式的进展。7月10日,3号厂房的主体结构正式封顶,老张带着施工团队在楼顶举行了简单的封顶仪式。看着高耸的钢结构厂房,老张流下了激动的泪水:“我们克服了暴雨、设备变更、资金短缺等重重困难,比原计划只延误了15天,接下来我们将全力以赴进行净化装修,确保8月底前交付使用!”

然而,资本市场的质疑依然没有平息。7月中旬,浑水再次发布做空报告,称“渊渟资本的国产设备只是实验室样品,不具备量产能力,高频振荡器等核心部件的研发不可能在短期内突破”,导致渊渟资本的股价再次下跌8%。刘建国等股东再次要求召开董事会,讨论项目的存续问题。

7月20日的董事会上,林渊展示了国产光刻机的最新测试数据和厂房建设的进度照片,语气坚定地说:“我们的国产光刻机已经实现了90%的良率,8月底就能完成10台设备的组装;高频振荡器的研发也取得了突破,已经完成了核心电路的设计;厂房建设将在8月底前完成交付。现在离成功只有一步之遥,放弃就是前功尽弃!”他拿出一份新的融资方案,“我已经与国内的几家保险公司和社保基金达成初步协议,他们愿意以股权投资的方式注入20亿美元,彻底解决后续的资金问题。”

唐老也在会上力挺林渊:“国家已经将‘芯谷’项目纳入‘十四五’规划的重点项目,后续还会有更多的政策支持。现在国际巨头的封锁越严,越能说明我们的项目击中了他们的要害。只要我们坚持下去,就一定能打破垄断,为龙国半导体产业开辟一条自主化的道路。”在唐老和林渊的坚持下,董事会最终以7票赞成、3票反对的结果,通过了继续推进项目的决议。

7月30日,高频振荡器的首台样机在研发中心完成测试,虽然功率比进口产品低5%,但稳定性达到了要求,完全能满足光刻机的使用需求。张教授兴奋地对林渊说:“我们采用了新的电路拓扑结构,虽然牺牲了一点功率,但提高了稳定性和可靠性,而且成本比进口产品低30%。我们已经开始小批量生产,9月底前就能满足光刻机的组装需求!”

林渊打开系统界面,查看最新进度:“‘珠峰计划’第二阶段进度60%(晶圆厂主体结构封顶,国产光刻机良率稳定在90%,高频振荡器等核心零部件研发取得突破,供应链自主化率达到70%),主线任务‘挑战硬科技之巅’进度65%,支线任务‘供应链突围’进度70%。奖励:‘精密制造工艺库’已解锁,包含1000多项半导体设备精密制造的核心工艺,可缩短零部件生产周期40%。”

系统还弹出了国际市场的最新动态:“asml宣布推迟euv光刻机的量产时间,原因是核心零部件供应短缺;台积电的亚利桑那州工厂也因为设备交付延迟,工期延误了6个月。国际半导体产业的供应链正在重构,为龙国企业提供了窗口期。”林渊知道,这是他们打破国际封锁的最佳时机。

8月1日,林渊在“芯谷”产业园举行了国产设备量产启动仪式。当第一台国产刻蚀机的零部件从生产线缓缓下线时,现场响起了雷鸣般的掌声。林渊走到话筒前,看着眼前的工程师和施工人员,心中充满了感慨:“从项目启动到现在,我们经历了国际巨头的联合封锁、资本市场的做空打压、技术研发的重重难关,但我们从来没有放弃过。今天,国产设备的量产启动,标志着我们已经迈出了自主化的关键一步。接下来,我们将全力以赴,在10月底前实现28纳米芯片的试生产,用实际行动证明,龙国的芯片产业,靠自己也能站起来!”

仪式结束后,林渊独自一人来到即将竣工的净化车间,阳光透过玻璃幕墙洒在地面上,反射出耀眼的光芒。他知道,虽然工厂建设的停滞危机暂时缓解,但真正的考验还在后面——国产设备的量产调试、芯片试生产的良率提升、产业链的全面协同,每一步都充满了挑战。但他更相信,只要所有“芯谷”人齐心协力,就一定能攻克难关,实现龙国半导体产业的硬核崛起。而他即将做出的自主研发制造设备的全面决断,将引领团队走向新的征程。