第213章 工厂建设陷入停滞(1/2)
2014年5月15日清晨,江城“芯谷”产业园的晶圆厂施工现场,原本轰鸣的机械突然陷入沉寂。项目总工程师老张蹲在地基旁,手里攥着刚打印出来的设备尺寸清单,眉头拧成了疙瘩。林渊赶到时,看到数十名施工人员围在临时指挥棚外,脸上满是焦急——刚刚接到的通知显示,泛林半导体终止交付的12台薄膜沉积设备,其基座尺寸与国产替代方案的样机存在23厘米偏差,已经浇筑完成的3号厂房地基,必须全部返工。
“林总,这可咋整啊!”老张的声音带着哭腔,“3号厂房的地基用了1.2万立方米混凝土,耗时28天完成浇筑,光人工和材料成本就花了8000万元。现在要返工,不仅要延误至少1个月工期,还得再投入5000万元。更要命的是,国产设备的重量比进口设备重3吨,地基的承重强度不够,得重新加筑钢筋混凝土垫层。”
林渊走到地基边缘,看着钢筋裸露的混凝土结构,心中沉甸甸的。这已经是一周内第三次因为设备问题导致施工停滞。此前,刻蚀机车间的通风管道因为国产设备的散热需求增加,不得不重新设计口径;净化车间的地面平整度因为光刻机的精度要求提高,需要从原来的3毫米误差提升到0.5毫米,仅打磨工序就得多花20天。“老张,立刻组织技术团队重新核算承重参数,我让设计院24小时内出修改方案。”林渊拍了拍老张的肩膀,“成本和工期的问题我来协调,先把返工的准备工作做起来。”
地基返工的消息很快传遍了产业园,引发了连锁反应。为薄膜沉积设备提供配套管道的企业紧急停工,等待新的尺寸参数;负责厂房钢结构安装的施工队因为工期延误,提出要增加30%的人工费用;更让林渊头疼的是,银行的信贷专员也闻讯而来,要求重新评估项目风险,威胁要暂停后续贷款的发放。“林总,根据最新的施工进度,项目至少要延期6个月,投资预算可能超支20%。”信贷专员拿着风险评估报告,语气严肃,“如果不能提供新的进度保障方案,我们只能按照合同约定,冻结剩余的15亿美元贷款。”
屋漏偏逢连夜雨。5月18日,国产光刻机研发中心传来坏消息:刚完成调试的样机在连续运行72小时测试中,物镜系统突然出现光斑偏移,导致晶圆刻蚀良率从92%骤降至65%。陈研究员带着团队排查了整整一天,终于发现是进口的光学镜片出现了微小裂纹——这是他们通过第三方渠道采购的二手镜片,原本以为能临时替代,没想到在高强度运行下提前失效。“国内的光学镜片企业最高只能生产精度等级4级的产品,而我们需要的是1级精度,就算现在启动研发,至少需要12个月才能量产。”陈研究员的声音充满了挫败感,“从国外采购新的镜片,根本绕不开出口管制,就算买到了,也不知道什么时候能运进来。”
光刻机的故障让本就紧张的局势雪上加霜。下游客户的质疑电话接连不断,比雅迪的采购总监在电话里直言不讳:“林总,我们的新车型生产线已经预留了你们芯片的接口,原本约定明年3月供货,如果你们的项目延期,我们只能转而采购三星的芯片,到时候再换回来,成本要增加1个亿。”华维的代表也发来函件,要求渊渟资本提供详细的量产时间表,否则将取消之前签订的20亿美元采购意向书。
资本市场的反应更为激烈。渊渟资本的股价在5月下旬再次暴跌20%,市值蒸发了120亿美元。做空机构浑水发布了长达50页的做空报告,列举了项目延期、设备故障、资金短缺等10大风险点,断言“‘芯谷’项目将在18个月内资金链断裂,渊渟资本可能面临退市风险”。董事会的紧急会议上,刘建国带着几名小股东发难:“现在止损还来得及!我们可以把‘芯谷’项目打包出售给台积电,至少能收回100亿美元的投资,总比血本无归强!”
“出售项目就是卖国!”唐老拍案而起,怒斥道,“‘芯谷’不是渊渟资本的私产,是国家半导体产业的希望!现在遇到一点困难就想着退缩,对得起那些熬夜攻关的工程师吗?对得起国家的支持吗?”他转向林渊,语气缓和了一些,“林总,工信部已经协调中科院海市光学精密机械研究所,他们有一套闲置的1级精度光学镜片,虽然是实验室样品,但可以临时借用,先解燃眉之急。”
林渊立刻安排赵宇带队前往海市取镜片,同时召集研发团队制定镜片国产化替代方案。然而,新的问题又出现了:中科院的镜片尺寸与光刻机的物镜系统不匹配,需要重新设计适配支架,这又要延误10天时间。更严重的是,镜片的使用寿命只有300小时,远低于进口镜片的1000小时,这意味着未来需要频繁更换,生产成本将大幅增加。“我们可以采用涂层技术延长镜片寿命。”李校长带来了华中科大的解决方案,“我们的团队在光学涂层领域有专利技术,能将镜片寿命提升到600小时,虽然还是不如进口产品,但至少能满足试生产需求。”
就在研发团队全力解决镜片问题时,供应链的危机再次升级。5月25日,为晶圆厂提供净化车间空气过滤器的米国aaf公司,突然通知终止合同,理由是“渊渟资本被列入实体清单,违反了米国的出口管制法律”。空气过滤器看似不起眼,却是净化车间的核心部件,直接决定车间的洁净度等级。国内虽然有替代产品,但过滤效率只能达到99.99%,而进口产品能达到99.9999%,差两个数量级的精度,将导致芯片生产过程中的杂质污染率增加10倍。
“没有高精度过滤器,就算光刻机调试好了也没用!”海因茨博士急得团团转,“28纳米工艺对空气中的颗粒直径要求是0.1微米以下,国内产品根本无法满足。我们之前采购的100套过滤器,最多只能维持3个月,用完之后怎么办?”林渊立刻联系国内的过滤设备企业,得知苏州的一家企业正在研发高精度过滤器,已经完成了实验室测试,只是还没量产。“我们愿意投入1亿美元,帮助你们改造生产线,3个月内实现量产!”林渊在电话里向企业负责人承诺,“只要产品达标,我们签订5年的独家采购协议,年采购量不低于2000套。”
资金的压力越来越大。张磊在5月底的资金盘点会上汇报:“截至目前,项目已经累计投入110亿美元,其中厂房建设45亿美元,设备采购和研发40亿美元,供应链应急支出15亿美元,人员薪酬和其他费用10亿美元。按照当前的进度,剩余的70亿美元最多只能维持8个月,而国产设备的量产至少还需要12个月,资金缺口达50亿美元。”更糟糕的是,之前承诺注资的一家海外投资机构突然宣布撤资,理由是“项目风险超出预期”。
林渊不得不启动紧急融资计划。他亲自带队前往香港,与多家主权基金和私募机构洽谈融资事宜。然而,在浑水做空报告的影响下,大多数机构都持观望态度。卡塔尔主权基金的投资总监直言:“我们认可龙国芯片产业的前景,但‘芯谷’项目的风险实在太高,国际封锁、技术瓶颈、资金超支,任何一个问题都可能导致项目失败。除非你们能提供政府的全额担保,否则我们无法投资。”
关键时刻,国家大基金再次出手。唐老带来了好消息:“国家大基金决定追加40亿美元投资,同时协调工商银行、建设银行等6家国有银行,组成银团提供30亿美元的低息贷款,年利率仅1.0%,期限25年。这样一来,资金缺口就彻底解决了。”更令人振奋的是,国务院办公厅印发了《关于支持“芯谷”产业园建设的若干意见》,明确将“芯谷”项目列为“国家战略科技力量”,享受税收、土地、人才等方面的最高级别优惠政策。
政策的支持让项目暂时稳住了阵脚,但施工停滞的问题依然没有解决。6月1日,林渊在产业园召开了“百日攻坚”动员大会,面对数千名施工人员和技术人员,他的声音带着沙哑却无比坚定:“现在,我们面临着成立以来最严峻的挑战,国际巨头想把我们困死,资本市场想看我们笑话,但我要告诉大家,我们不会认输!从今天起,我们启动‘百日攻坚’计划,分三个战场同时推进:第一,厂房建设战场,由老张负责,70天内完成所有厂房的主体结构和净化装修;第二,设备研发战场,由海因茨博士和赵宇负责,100天内完成国产光刻机、刻蚀机等核心设备的量产调试;第三,供应链战场,由陈曦负责,90天内实现15类关键零部件的自主供应。”
为了激励大家,林渊宣布了重磅奖励政策:“百日攻坚期间,所有参与人员的薪酬翻倍,项目成功后,核心团队成员将获得项目利润10%的分红,施工团队每人发放10万元奖金。如果不能按时完成目标,我第一个辞职,向董事会和全国人民谢罪!”动员大会结束后,施工现场再次响起了机械的轰鸣声,研发中心的灯也亮得更晚了,整个“芯谷”产业园进入了“战时状态”。
然而,现实的困难远超想象。6月10日,3号厂房的地基返工刚完成一半,就遭遇了持续的强降雨天气,工地积水最深处达1米,导致混凝土浇筑工作被迫暂停。老张带着施工队冒雨排水,连续奋战了36小时,才保住了已经浇筑的地基,但工期又延误了5天。“我们已经在工地周围修建了临时排水渠,还采购了20台大功率抽水泵,就算再下雨也能正常施工。”老张浑身湿透,却眼神坚定地向林渊保证。
研发端的进展也不尽如人意。国产光刻机的镜片适配支架刚安装好,又发现激光发生器的功率稳定性出现问题,在连续运行48小时后,功率波动范围从±1%扩大到±3%,导致刻蚀良率下降到75%。陈研究员带着团队排查了三天三夜,终于发现是冷却系统的密封性不足,导致水温波动影响了激光输出。“我们需要重新设计冷却系统的密封结构,采用进口的密封垫片,但现在根本买不到。”陈研究员无奈地说。
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