第六十三章 前沿（1/2）

“波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线，目前大多数的研究，多是围绕着深紫外线开展！对于更短波长的紫外线利用，目前还没有明确稳定技术！”

光刻机以光为刃，扮演的角色就好比拍照时的相机。它通过使用光线把设计好的电路图案精准地“拍”到硅片上。极紫外光，由于波长极短，所以能刻画出更小的芯片特征尺寸，因而成了制造7纳米及以下先进制程芯片。

深紫外线在光刻分辨率上的性能，就不如极紫外线，光刻分辨率提升，芯片上可以容纳的晶体管数量就会成倍增加，芯片性能也能大幅跃升。

当然，光源的亮度和稳定性也是必不可缺的！

“我们在通过电磁学原理，电子在周期性磁场中会一边以光速向前飞行，一边左右摆动，这样电子就会向前辐射出光线··普朗克-爱因斯坦方程，其光子能量从10.25电子伏特到124电子伏特···

放电等离子体技术，通过高压电场作用让气体电离产生等离子体····

适当地选择周期性磁场的强度，就会使得种子激光中的某个谐波成分按照前述方式急剧地自激放大并达到饱和····最终得到稳定亮度的极紫外线光源！”

“按着循序渐进来进展的话，436、365的紫外线光源，193的深紫外线光源···都可以用来做光刻光源的选择，这些光源的分辨率，也是一个逐次上升的进度！”

他们试错成本有限，那就直接一步到位最好的选择，当然，其他光源标准，她也会在制作指导之中，一一普及。他们可以不用，但是理论和技术还是要掌握的。甚至，若是研发出来，未来还有望作为外汇品种。

最好的，拿去赚外汇总有些得不偿失，次几等的产品，才不心疼和泄密！

姜竞株在授课的同时，手上并没有闲着，很快，以示范的方式，经过一连串的精密操作，最终得到了她想要的稳定极紫外线光源。

提前二十年，他们开启对极紫外线的利用，他们的光刻分辨率，没道理提升不上去，芯片问题，将不会再是他们的焦灼，他们将走在国际的前沿。

光刻机的三大关键技术之一的光源问题在这里得到解决，另外两个则是高精度物镜系统和精密仪器制造技术。

但是这恰恰是姜竞株的擅长领域，确定想要的成效，推导出需要达成这个成果所要的架构，再进一步匹配推导出所有的零部件···

时间就像拧紧的发条，在专业辅助的配合下，姜竞株的研发过程，丝滑流畅的推进着。

因为有绝对可靠，且专业的人手协助，姜竞株的精力，不用局限在项目进度跟进上，几位大拿各有分工，整个项目上下协调配合。

有的是有来回奔波的忙碌身影，有的只有讨论研学的积极，却半点儿没有，所谓拖沓、小心思之类的。

这个时候，人的奉献精神，他们的高尚，和爱国之心，是姜竞株由衷佩服的时候，也是后世不少人无法想象的！