第六十三章 前沿(2/2)
单纯的研发环境,全力的配合,在被所有人认为偏僻贫瘠的南海之滨,奇迹在这里酝酿,只待爆发惊艳实践。
一件件精密的零件,从丰老几位国宝级工匠手中诞生,再精密细小,他们都以近乎零误差完成。最关键的光学镜片,都没有困住他们的脚步。
真真做到了丰老对姜竞株的承诺,只要有图纸,再精密的加工,在他们手中,都是举重若轻,完满完成任务!
制取新的光刻胶,实验旋涂工艺,组装一个个精密部件···
当那台精密至极,彰显着科技凝结的深紫外线光刻机呈现在所有人面前的时候,参与研发的众人,无不为它的神采倾倒!
若不是事实摆在他们眼前,每一步组装过程,他们甚至全程参与,每一个精密零部件,他们都有亲自看着大师傅加工,真得有点儿不敢置信,这样先进的尖端设备,就这样被他们制备出来了!
看那工线笔直的外表,再想想那环环相扣,每一步,都代表着理论到工艺的科研结晶,那复杂的运转系统,更是让他们至今还没完全参透其中的细节之处。
哪怕是竞株同志已经毫无保留的阐述,他们自认为,也不算碌碌无为,但是,这里面涉及的理论和工艺,都可以堪称划开一个时代的领先,他们还需要不少时间,才能慢慢吃透全部,目前,只能说是囫囵吞枣的了解整体大构造理论,记得住工艺!
他们敢说,这是世界上最精密的光刻机,没有之一,哪怕是以先进出名的海对面,也没有这样优秀的设备,他们有这个自信!
竞株同志的推导研发能力,让他们的光刻进程,整整甩开对面了一个时代!
接触式曝光技术,跨过国际先进的投影式,以精密的南海激光系统和特殊反射镜,共同作用以生成和传递极紫外线光通过反射镜聚焦,实现了更精准的扫描式曝光技术。
非接触曝光,以掩膜版比光刻图案10:1的缩小倍率,光束通过刻有电路图案的掩模版,再经过一系列光学镜片缩小,最终将电路图案精准地刻蚀到硅片上···
光刻制程,直接从英寸,跳过微米,拉进到了纳米级的制程,这是千倍以上的提升!
他们可以预测,芯片成品率和良品率,将会呈几何倍提升!
别具一格的双工作台技术,通过两个独立设置的工作台,实现了曝光和上下料操作的并行进行。
当一个工作台在进行曝光操作时,另一个工作台就可以同时进行上下料操作,从而大大缩短了光刻机的停机时间,提高了生产效率。他们的双工作台系统,完全可以满足纳米级精度尺度的产品定制需求!
竞株同志设计的集成电路图如今已经可以肯定,是必然能够达成的,如今,他们已经在竞株同志的带领下,拥有了这项奇迹诞生的条件。