第211章 动工仪式，万众期待（2/2）

返回江城的飞机上，林渊就接到了陈曦的电话：“林总，刚收到消息，米国商务部公布了新的对华半导体设备出口管制清单，将28纳米及以上工艺的duv光刻机列为‘限制出口商品’，需要经过严格的出口许可才能对华出口。asml的股价因为这个消息上涨了3%，市场预计他们会减少对华出口，转向欧洲和东南亚市场。”

这个消息验证了唐老的判断。林渊立刻通知团队：“启动应急预案，全面加快国产设备的研发和调试进度。张磊，你负责协调资金，将原本用于支付asml设备尾款的30亿美元，全部调拨到国产设备研发和生产线建设上；赵宇，你牵头与中科院光电技术研究所对接，把国产光刻机的研发周期缩短50%，务必在2014年底前完成样机测试；海因茨博士，你负责优化国产设备的生产流程，确保年底前能实现月产1万片晶圆的能力。”

3月30日，asml正式向渊渟资本发来《合同终止通知书》，以“米国政府出口管制政策变更，无法获得出口许可”为由，终止了双方价值18亿美元的duv光刻机采购合同，仅同意退还2亿美元预付款，剩余3亿美元作为“已发生的研发和生产费用”不予退还。消息传来，团队内部一片哗然，不少工程师脸上露出了沮丧的表情——他们中很多人都曾在台积电、三星工作过，深知没有asml的光刻机，要实现28纳米芯片的规模化量产有多难。

林渊立刻召开全员动员大会，面对台下数百名技术人员和施工工人，他的声音铿锵有力：“asml的终止合同，对我们来说是挑战，更是机遇！它让我们彻底明白，核心技术是买不来、讨不来的，只能靠自己研发。我在这里向大家承诺：第一，加大研发投入，今年的设备研发预算从30亿美元增加到50亿美元；第二，所有参与国产设备研发的技术人员，薪酬上浮30%，项目成功后发放巨额奖金；第三，就算砸锅卖铁，我也会保证项目资金到位，绝不因为资金问题让大家停工！”

林渊的承诺点燃了大家的斗志。海因茨博士第一个站起来表态：“我在半导体行业工作了30年，见证了无数技术突破，我相信只要我们齐心协力，一定能攻克国产光刻机的难关！”中微公司的项目负责人李工也激动地说：“我们的刻蚀机已经达到了国际先进水平，再攻克光刻机，龙国的芯片设备就能站起来了！”台下响起了雷鸣般的掌声，沮丧的情绪被高昂的斗志所取代。

动员大会结束后，“芯谷”产业园进入了“战时状态”。国产光刻机研发中心的灯每天都亮到凌晨，中科院光电技术研究所的陈研究员带着团队连续一周没有回家，终于攻克了光源稳定性的最后一道难关，将激光功率波动范围控制在了±1%以内。“我们采用了双谐振腔耦合技术，通过两个谐振腔的相互补偿，彻底解决了功率波动问题，现在的技术指标已经超过了asml的同类型号。”陈研究员带着浓重的黑眼圈，兴奋地向林渊汇报。

晶圆厂的施工也在加速推进。为了配合国产设备的安装需求，施工团队对净化车间的布局进行了优化，将设备间距扩大了20%，预留了更多的调试空间。老张带着团队创造了“三天一层楼”的施工速度，原本计划6个月完成的主体结构建设，预计5个月就能竣工。“我们加了两个施工班组，实行三班倒作业，每天的混凝土浇筑量达到了5000立方米，确保能按时交付使用。”老张自豪地说。

产业链配套企业也纷纷伸出援手。海市新阳加快了光刻胶的研发进度，提前一个月完成了28纳米工艺光刻胶的量产认证；中环股份将大硅片的试生产时间提前到4月初，承诺优先供应“芯谷”产业园；华维、比雅迪等下游企业也表示，愿意接受国产设备生产的芯片，哪怕良率暂时低一些，也会签订采购合同支持国产芯片的发展。

4月10日，国产光刻机的首台样机在研发中心完成组装，进入了调试阶段。林渊亲自来到调试现场，看着这台凝聚了无数人心血的设备，心中充满了感慨。设备的主体结构是银白色的，高达5米，由上万个精密零部件组成，其中90%的零部件都实现了国产化。调试工程师按下启动按钮，设备发出了轻微的嗡鸣声，激光发生器精准地投射到晶圆上，屏幕上显示的线宽精度达到了0.12微米，远超设计指标。

“太好了！我们成功了！”调试现场爆发出热烈的欢呼声，工程师们互相拥抱，不少人流下了激动的泪水。林渊打开系统界面，查看最新进度：“‘珠峰计划’第二阶段进度20%（国产光刻机样机研发成功，晶圆厂主体结构建设完成60%，产业链配套企业试生产启动），主线任务‘挑战硬科技之巅’进度50%，支线任务‘量产攻坚’进度20%。奖励：‘智能工艺控制系统’已解锁，可实现芯片制造全流程的自动化控制，提升良率5%-8%。”

系统还弹出了新的提示：“检测到国际设备供应商联盟动态，asml联合应用材料、泛林半导体等企业，宣布对龙国半导体企业实施‘设备维护禁令’，禁止为已售设备提供维护服务。建议提前储备设备零部件，建立自主的维护体系。”林渊的眉头皱了起来，他知道，国际巨头的打压还没有结束，接下来的设备维护和零部件供应，将是新的挑战。

林渊立刻召集供应链团队开会，部署零部件储备工作：“陈曦，你负责联系国内的精密制造企业，对asml、应用材料等企业的设备零部件进行反向研发，建立零部件国产化替代体系；张磊，你安排10亿美元资金，用于采购关键零部件的库存，确保现有设备能正常运行；赵宇，你牵头成立设备维护团队，培训专业的维护工程师，摆脱对国外企业的依赖。”

夕阳西下，林渊站在“芯谷”产业园的高处，看着眼前热火朝天的景象，心中充满了坚定。asml的毁约，虽然给项目带来了暂时的困难，但也让龙国芯片产业彻底抛弃了“买办思维”，走上了自主研发的道路。他知道，未来的路还很长，国际巨头的打压会越来越激烈，但只要整个产业链齐心协力，就没有攻克不了的难关。“芯谷”的“芯”火已经点燃，龙国芯片产业的硬核崛起，正在这片热土上徐徐展开。而接下来，他们要面对的，将是工厂建设中更严峻的考验——设备维护禁令带来的连锁反应，以及量产前的最后冲刺。